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合金溅射靶是由一种金属和其他金属或非金属组成的材料，同时仍显示出某些金属特性。 通常通过将各个熔融组分熔融并从高温冷却成为冷凝物来获得合金。 大多数合金是混合物，而不是纯化学物质，但是合金中的每种成分仍保持其自己的化学特性。 根据所含元素的数量，合金溅射靶可分为二元合金，三元合金和多组分合金。 合金比纯金属具有更广泛和重要的工业应用，因此人们很少使用纯金属，而是在日常生活中使用合金。 合金溅射靶与纯金属溅射靶具有多个特征，包括固态下的晶体结构，特殊的金属光泽，不透明性以及优良的导电性，导热性和延展性。
已开发出一种基于熔融法的工艺，用于生产具有高化学均匀性、低氧含量及超高纯度的铝基合金溅射靶材，这些合金是专门为这些氮化物压电材料的反应沉积而量身定制的。目前可以提供钪含量最高达30at% 的溅射靶材。不久的将来将可提供钪含量最高达 44at% (56wt%) 的溅射靶材。本文以铝钪合金溅射靶材为列说明。
铝钪合金溅射靶材的优势
高度一致的化学计量 - 跨越靶材和不同的靶材厚度
纯度 >99.9%
严格控制的微观结构，可实现最佳溅射性能
通过真空铸造制造而成，靶材细致紧密，且氧含量及污染物含量低。
各种合金靶材产品目录：
钐靶材Sm,纯度:3N5
钕靶材Nd,纯度:3N5
镨靶材Pr,纯度,:3N5
铈靶材Ce,纯度:3N5
镧靶材La,纯度;3N,3N5
钡靶材Ba纯度:3N
碲靶材Te,纯度:4N5,5N
锑靶材Sb,纯度,4N,5N
镉靶材Cd,纯度:4N
钇靶材Y纯度:3N,3N5,4N
硒靶材Se纯度:4N,5N
钪靶材Sc纯度:4N,4N5
钙靶材Ca纯度:2N5
铑靶材Rh纯度:3N5,4N
钯靶材Pd纯度:3N5
锇靶材Os纯度:3N,3N5
铼靶材Re纯度:3N5,4N
钌靶材Rua纯度:3N5
铱靶材Ir纯度:3N5
锗靶材Ge纯度:5N
铂靶材Pt纯度:3N5,4N,4N5
铒靶材Er纯度:2N5,3N,3N5
锰靶材Mn纯度:3N,3N5,4N
锌靶材Zn纯度:4N,4N5,5N
镁靶材Mg纯度:3N8,4N,5N
锂靶材Li纯度:3N
金靶材Au纯度:4N,4N5,5N
锆靶材Zr纯度:2N7~5N
铜镓合金靶材,Cu+Ga纯度:4N,5N
钴钽锆合金靶材Co+Ta+Zr纯度:3N,3N5
铁钴钽锆合金靶Fe+Co+Ta+Zr,纯度,3N5
铁钴合金靶材Fe+Co,3N,3N6,4N
镍铬合金靶材Ni+Cr,3N,3N6,4N
镍铁合金靶材Ni+Fe,纯度:3N5,4N
镍钒合金靶材Ni+V,纯度:3N, 3N6,4N
铋靶材Bi纯度,4N,5N
铅靶材Pb,纯度,4N
铪靶材Hf,纯度:3N,3N5,3N8,4N
镱靶材Yb,纯度:3N5
钬靶材Ho,纯度:3N,3N5
镝靶材Dy,纯度:3N5
铽靶材Tb,纯度:3N5
钆靶材Gd,纯度:2N,3N,3N5
铕靶材Eu,纯度:3N5
铕靶材Eu,纯度:3N5
运输说明：
极低温产品：极低温产品运输过程中加装干冰运输。用干冰把产品包裹起来，再用泡沫盒密封，胶带层层粘住泡沫盒，放入德尔塔生物的箱子，然后交付给合作快递，安全快速高效放心的送至客户的手中，保证产品的性质稳定如一，为您的实验保驾护航。
低温产品：低温产品运输过程中加装冰袋运输。事先用冰袋把产品包裹起来，再使用泡沫盒密封，用胶带严实密封泡沫盒，再放入德尔塔生物的箱子（保温效果最少可以持续一周），然后交付给合作快递，安全快速高效放心的送至客户的手中，保证产品的性质稳定如一，为您的实验保驾护航。
常温产品：常温产品运输过程中无需加冰或者特殊包装。产品由公司库房人员快速配货，准确快速高效的快递保证产品快速送达您的手中。
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