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采用热压烧结法制备得到的合金靶材致密度高(≥95％)， 晶粒尺寸细小(≤100 微米)，成分均匀。用该工艺可 制备出不同成分的钛铝合金靶材。钛铝合金靶材成 分范围为：钛含量25％～75％(原子比)，其余为铝含 量。该工艺流程短、成本低、镀膜效果好，能满足大 规模产业化要求。
该工艺使钛铝粉体在热和力的共同 作用下烧结成型，利用Ti—Al混合物中铝的熔点 低，将钛粉粘结在一起，形成合金溅射靶材。热压 烧结示意图如图2所示。
目前，热压烧结是钛铝合金溅射靶材最有潜力 的制备技术。该技术工艺效率高，适合产业化生产。然而用热压烧结方式制备钛铝合金溅射靶材，存在 脱模困难，模具使用寿命低的问题。每块靶材制备 过程都要消耗一套模具，使靶材生产成本增加。钛铝合金烧结过程中，钛属于高熔点的硬质相，铝属于 粘接相。高铝型钛铝合金粉末烧结过程中低熔点的 铝逐步熔化，能将钛原子粘接在一起，最后形成合金 靶材。然而铝液与石墨模具的润湿角是钝角，铝含 量越多的钛铝合金，热压烧结冷却后脱模越困难。因此，高铝型钛铝合金靶材的热压烧结制备工艺中 需要选择合适的脱模剂，来提高成品率及模具的利 用率。
铝镁合金靶材
钴铁硼合金靶材
钴铁合金靶材
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银锡合金靶材
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铱锰合金靶材
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运输说明：
极低温产品：极低温产品运输过程中加装干冰运输。用干冰把产品包裹起来，再用泡沫盒密封，胶带层层粘住泡沫盒，放入德尔塔生物的箱子，然后交付给合作快递，安全快速高效放心的送至客户的手中，保证产品的性质稳定如一，为您的实验保驾护航。
低温产品：低温产品运输过程中加装冰袋运输。事先用冰袋把产品包裹起来，再使用泡沫盒密封，用胶带严实密封泡沫盒，再放入德尔塔生物的箱子（保温效果最少可以持续一周），然后交付给合作快递，安全快速高效放心的送至客户的手中，保证产品的性质稳定如一，为您的实验保驾护航。
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